Лампа ДРКс-1500МL аналогичична лампе ДРКс-1500М по габаритным расмерам, электрическим параметрам и спектру излучения, но обладает повышенной яркостью в рабочем диапазоне спектра, и увеличенным на 40% сроком службы. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Применяется в установках ЭМ-584, ЭМ-5084Б и установках ASML, Nikon и др. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI). |