Лампа ДРКс-500М дуговая, разрядная, сверхвысокого давления,ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI).
Основные технические характеристики.
Мощность (номинальная)
500 Вт.
Мощность излучения излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (Вт.)
59
Интенсивность излучения в диапазоне длин волн 350-450nm (mВт\стрд)
5700
Напряжение на лампе
25 В.
Ток лампы
20 А.
Рабочее положение вертикальное катодом вверх допустимое отклонение от вертикали ±15°
