Лампа ДРКс-1500М дуговая, разрядная, сверхвысокого давления,ультрафиолетовая, непрерывного действия, применяется в микрофотолитографии для установок проекционной пошаговой мультипликации. Используется в проекционных установках предназначенных для совмещения и помодульного экспонирования полупроводниковых пластин при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники. Применяется в установках ЭМ-584, ЭМ-5084Б и установках ASML, Nikon и др. Так же используется при производстве печатных плат высокой плотности соединений(HDI). |